アモルファスカーボン

弊社のアモルファスカーボンは、独自の高機能フェノール樹脂硬化成形体を焼成炭素化して製造されています。

特徴

○緻密で均一な構造。

○軽量で高い剛性。

○高硬度・低摩耗性。

○高温での寸法安定性。

○耐薬品性・耐腐食性。

○無気孔で緻密な組織構成。

　※ご採用にあたりまして、各種データが必要な場合、お問い合わせくださいませ。

規格大きさ

12インチ純化板  ・・・外径φ330mm　×　厚みt=3.8mm

12インチ焼成板  ・・・外径φ330mm　×　厚みt=3.8mm

8インチ純化板    ・・・外径φ215mm　×　厚みt=2.4mm

8インチ焼成板    ・・・外径φ215mm　×　厚みt=2.4mm

8インチウェハー・・・ 外径φ200mm(±0.5)　×　厚みt=0.725(±0.02)

 ※ご使用用途に応じて、様々な形状に加工することが可能です。

　　　　下記は、12インチ焼成板の写真です。

用途

○サセプター、シールドリング

○シリコンウェハー搬送トレイ

○シリコンウェハー用バキュームアーム

○半導体工程・洗浄装置部品

  ※上記製品をご検討の際は、アモルファスカーボンにて加工も賜ります！！